E' possibile realizzare strutture meccaniche all'interno di un circuito integrato? La tecnologia ha fatto passi da gigante, ed è possibile costruire perfino un motore elettrico perfettamente funzionante, tutto all'interno di un chip di silicio.

In questa parte vengono analizzate le applicazioni più promettenti per queste nuove tecnologie, principalmente nel campo dei microsensori.

L'induttore è stato l'ultimo componente ad essere stato realizzato in forma integrata, ma presenta ancora moltissimi problemi. La tecnica della Bulk Micromachining permette di risolverli in parte, mediante la rimozione del substrato.

Per misurare l'induttore non è possibile utilizzare le classiche tecniche di misurazione dei componenti, ma è preferibile effettuare una misura indiretta. Nel nostro lavoro si è optato per l'utilizzo di un amplificatore accordato RF.

Nell'appendice vengono approfondite alcune tematiche, vengono dati i sorgenti matlab delle simulazioni e vengono presentate le design rules utilizzate dalla AMS per la realizzazione del Layout dell'induttore.